簡(jiǎn)要描述：管式爐搭配質(zhì)子（浮子）供氣系統(tǒng)真空系統(tǒng)和分子泵機(jī)組，形成高真空CVD系統(tǒng)。CVD系統(tǒng)管式爐是一種重要的材料制備設(shè)備，廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)之中。它主要用于在固態(tài)基材上沉積一層薄膜，其組成部分包括高溫真空管式爐、氣路和真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-01-08訪 問(wèn) 量：566產(chǎn)品分類
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|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,冶金,航天,綜合 |
CVD系統(tǒng)（高真空）GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)1.包含一款通過(guò)CE認(rèn)證的高溫管式爐，2.包含一款GYS-3Z低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng) 3.包含一款OYS-300F風(fēng)冷分子泵機(jī)組參數(shù)表。
CVD系統(tǒng)（高真空）GYS-1500C-II+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)(CVD系統(tǒng)高真空）
一款通過(guò)CE認(rèn)證的高溫管式爐，其爐管采用的高純氧化鋁剛玉管，加熱元件為硅碳棒。隨身帶有兩個(gè)真空密封法蘭(法蘭上已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥)，控溫方式采用50段程序設(shè)置，最高溫度可達(dá)1500℃。
產(chǎn)品型號(hào) | 管 式爐 GYS-1500C-II（φ60、φ80、φ100） |
主要產(chǎn)品參數(shù) | 電源：380V 50/60HZ 額定功率：11 KW 最高工作溫度：1500℃（＜0.5h） 連續(xù)工作溫度：1400 ℃以下≤10℃/min; 1400 ℃以上≤5℃/min; 推薦升溫速率：≤10℃/min 加熱區(qū)長(zhǎng)度：600mm； 雙溫區(qū)長(zhǎng)度300mm+300mm |
爐體結(jié)構(gòu) | 爐體特點(diǎn)：采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失 |
加熱元件 | 硅碳棒 |
爐管尺寸 | 高純石英管φ60、φ80、φ100（備注：爐子在使用前，爐管兩端先放入管堵） |
外形尺寸 | 1450mm(L)*500mm(W)*820mm（H） |
重量 | 150KG |
溫控系統(tǒng) | 控溫方式：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度：±1℃ |
真空密封 | 標(biāo)配：一對(duì)不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈 選配：為了更快的獲得較高的真空度，建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計(jì) |
法蘭接口 | 為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接；多種接頭可選，具體請(qǐng)咨詢我公司銷售經(jīng)理 |
真空度 | 采用雙旋片式機(jī)械真空泵真空度可以達(dá)到10-2torr；如您想獲得更高的真空度（＜10-5torr or better）可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組 |
可選 | 本公司還可以提供防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8*105至1125torr，不需因測(cè)量氣體種類不同而需要轉(zhuǎn)換系數(shù) |
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件 | CE、UL等認(rèn)證，核心零部件有ABB、歐米茄、東明等 |
售后 | 質(zhì)保期一年，終身維護(hù)；24小時(shí)在線服務(wù) 特別聲明：耗材部分如加熱元件，石英管，坩堝等不包含在內(nèi) 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA；由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生(如爐 管破裂，法蘭飛出等) 氣體的流量應(yīng)限制在<200 SCCM(或200ml/ min) |
質(zhì)子供氣系統(tǒng)GYS-3Z參數(shù)表
GYS-3Z是一款低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個(gè)7寸的LCD觸摸屏上，便于操控的同時(shí)，可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品型號(hào) | GYS-3Z |
產(chǎn)品參數(shù) | 電源：220V 50/60HZ 額定功率：23 W 流量計(jì)范圍：1-100SCCM；1-200SCCM; 1-500SCCM； 有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接 壓力表量程:-0.1~0.15MPa 混氣罐尺寸: φ80*120mm |
氣口/閥門 | 內(nèi)部連接管道為?6.35 |
產(chǎn)品尺寸 | 外形尺寸:長(zhǎng)610mm*寬610mm*高710mm |
重量 | 約30KG |
產(chǎn)品特點(diǎn) | 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡(jiǎn)便 采用觸摸屏來(lái)控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸 |
一、OYS-300F風(fēng)冷分子泵機(jī)組參數(shù)表產(chǎn)品簡(jiǎn)介
此機(jī)組為風(fēng)冷機(jī)組無(wú)需冷卻，本機(jī)組極限真空5*10-5Pa ，充分考慮到實(shí)驗(yàn)室及一些研究院所的使用條件，大大方便了客戶的使用范圍，本產(chǎn)品為一鍵啟動(dòng)模式，大大降低了對(duì)使用者的專業(yè)要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。
二、技術(shù)資料
名稱 | 詳情 | |
主要參數(shù) | ? 電源：220V 50/60HZ ? 額定功率：2KW ? 工作原理：前級(jí)泵次級(jí)泵交互泵組 ? 最高真空度：5*10-5Pa ? 啟動(dòng)方式：一鍵啟動(dòng) | |
真空分子泵 | ? 型號(hào)：JTFB-300F； ? 抽速：300L/S； ? 其他：刀口法蘭、風(fēng)扇、線纜等 | |
前級(jí)泵（機(jī)械泵） | ? 型號(hào)：TRP-12； ? 抽速：12立方/小時(shí)雙級(jí)旋片 | |
分子泵控制器 | ? 一鍵式啟動(dòng)； ? 控制器集成電源； ? 帶頻率顯示控制器； | |
降溫模塊設(shè)備 | 風(fēng)扇風(fēng)冷模組 | |
線纜 | 2米長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)線纜及電源線纜 | |
復(fù)合真空計(jì) | ? 型號(hào)：ZDF5227AX ? 測(cè)量范圍：1.0×105~1*10-5Pa ? 其他：含真空計(jì)數(shù)據(jù)線纜等 | |
泵組連接管 | 不銹鋼波紋管，2根 | |
氣路控制 | ? 高真空擋板閥 ? 型號(hào)：GD-J25/KF | |
泵組殼體 | 風(fēng)冷泵組專用機(jī)架 | |
售后 | ? 質(zhì)保期一年，終身維護(hù)，24小時(shí)在線服務(wù) ? 特別提示：耗材部分如加熱元件、坩堝等不包括在內(nèi) | |
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